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半導(dǎo)體含氟廢水主要產(chǎn)生于制造過程中的蝕刻、清洗、研磨及沉積工序。在蝕刻環(huán)節(jié)(如晶圓加工),氫氟酸(HF)、氟化銨(NH?F)等含氟化學(xué)品用于選擇性去除材料表層,反應(yīng)后形成高氟廢水;清洗步驟則因使用含氟清洗劑去除殘留物而產(chǎn)生含氟廢水。
此外,設(shè)備沖洗、廢氣廢液收集等環(huán)節(jié)也會貢獻(xiàn)氟污染源。此類廢水具有氟濃度高(500–2000mg/L)、強(qiáng)酸性、含重金屬氟絡(luò)合物(如銅、鎳)及成分復(fù)雜多變的特點。
處理難點
1. 傳統(tǒng)方法效率低:石灰沉淀法生成的氟化鈣(CaF?)沉淀疏松易返溶,出水氟濃度常反彈至10mg/L以上,難以穩(wěn)定達(dá)標(biāo);鋁鹽混凝法在高硬度、高氟水中易失效,且殘留鋁離子可能抑制生化系統(tǒng);反滲透膜雖能除氟,但高氟廢水導(dǎo)致膜結(jié)垢,更換成本高昂(噸水處理費超10元)。
2. 重金屬氟絡(luò)合物干擾:銅、鎳等重金屬與氟形成的穩(wěn)定絡(luò)合物,阻礙氟離子游離,降低沉淀效率。
3. 污泥處置成本高:傳統(tǒng)鈣鹽法產(chǎn)生大量含水率高的污泥,后續(xù)處置費用顯著。
環(huán)瑞除氟劑的處理優(yōu)勢
環(huán)瑞除氟劑(如GMS-F4、GMS-F6)通過階梯式工藝設(shè)計和精準(zhǔn)離子交換機(jī)制解決上述痛點:
1. 深度除氟,穩(wěn)定達(dá)標(biāo):
一級處理可將氟濃度從500–2000mg/L降至20mg/L左右,二級處理進(jìn)一步將氟濃度穩(wěn)定控制在0.5mg/L以下(遠(yuǎn)低于1mg/L的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn))。
2. 高效快速,操作簡便:
反應(yīng)時間≤10分鐘,無需改造現(xiàn)有產(chǎn)線,配合智能加藥系統(tǒng)實現(xiàn)自動化控制。
3. 經(jīng)濟(jì)性與環(huán)保性:
污泥量減少55%,含水率低,顯著降低處置成本。半導(dǎo)體含氟廢水的治理需突破傳統(tǒng)方法的局限。環(huán)瑞除氟劑通過深度除氟能力、抗干擾特性、快速反應(yīng)及污泥減量等優(yōu)勢,不僅實現(xiàn)氟濃度穩(wěn)定≤0.5mg/L的嚴(yán)苛要求,更將廢水治理轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)競爭力,助力半導(dǎo)體行業(yè)綠色制造升級。
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